二手 HITACHI PCV #9107491 待售

HITACHI PCV（Precision Chemical Vapor Deposition）是一種其他晶圓加工設備，用於在晶圓上制造薄膜，用於半導體元件等器件。這一技術是化學氣相沈積（CVD）的一種變體，在基板上制造金屬、陶瓷或塑料材料薄層時具有很高的準確性和可重復性。PCV系統首先使用原子源，例如高壓氫氣，通過加熱的輸送管提供給腔室。然後，這種氣體被高頻源加熱的電場轉化為等離子體。然後用這種等離子體在基板上沈積一層所需材料的薄膜。在此過程中，可以量身定制壓力、溫度和氣體混合物，以確定材料的最佳特性。通過調整電流來控制材料的沈積速率，從而使材料層非常薄，大約為納米至微米。一旦材料薄膜被沈積，需要其他幾個步驟，以適當準備它用於半導體應用。薄膜可能需要經過幾個清潔步驟，以去除汙染物以及蝕刻到特定的尺寸。根據所沈積的材料,可能需要其他步驟,例如拋光或擴散。使用HITACHI PCV單元的優點在於其準確性和可重復性使其非常適合於精密應用,例如半導體中的應用。由於其精度和可重復性，可以將層沈積到一致可重復的厚度，這對於半導體元件尤為重要。PCV機的另一個重要方面是耐用性。該工具設計為堅固耐用,可承受高溫等環境條件的變化,而不會嚴重降低其準確性或可重復性。這種堅固性對於半導體應用至關重要，半導體應用必須長期保持高度可靠。總之，HITACHI PCV資產是優先考慮準確性和可重復性的應用程序的絕佳選擇。在將金屬、陶瓷或塑料薄膜沈積在基板上時,此模型具有很高的精度,並且耐用到足以承受環境條件的壓力。