二手 HONDA / HITACHI HUS-5 #9354061 待售

HONDA/HITACHI HUS-5是為鈍化、退火、光敏灰化、介電蝕刻等工藝而設計的晶圓加工設備。它是一臺高性能機器，能夠在一小時內處理多達600個晶圓。該機還能控制壓力、溫度、時間等所有工藝參數。該機采用多種安全聯鎖裝置，確保用戶安全和過程控制。溫度控制由PID控制完成，精度為0.1°C，最高運行溫度為350 °C。再者，該機裝有雙向熱風刀，遇到問題可快速停止過程。它還具有內置的自檢功能,使其能夠檢測、警報和糾正操作過程中可能出現的任何問題。此外，該機配備了先進的清洗系統，利用紫外線和微波技術，確保了更清潔的加工環境。這一單元是由一個雙區反射燈和一個加熱器排氣機，防止再汙染進一步增強。該機還設計了一個高性能的等離子體腔室，這有助於保持腔室清潔和過程可重復和一致。為保證結果的均勻性，該機還配備了可調掃描電極、快門工具和獨立的溫度控制資產。這些特性使機器能夠準確控制每個加工過的晶片的參數。為了保持最高質量，晶圓加工機還補充了集成軟件模型。此軟件具有一組用戶友好的界面,可實現高效和直觀的控制。它還允許一次運行多個程序，讓用戶最大限度地提高生產力和成果。總之，HONDA HUS-5是一種高性能晶片加工機，能夠在一小時內精確可靠地處理多達600個晶片。其內置的溫度和時間控制等安全特性，加上先進的清潔系統，使用戶能夠產生一致、高質量的效果。