二手 INMATEC IMT-PN 120 #9054107 待售
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INMATEC IMT-PN 120是一種綜合性、高精度的晶圓加工設備,專為先進的半導體加工而設計。該系統能夠並行處理多達三個300 mm晶片,允許用戶優化其生產吞吐量。單位由各自執行特定任務的個別模塊組成;每個模塊都是為高精度工作而設計的,並針對一致的操作進行了優化。IMT-PN 120的主要晶片處理模塊是一個多頭高級電鍍室。這個腔室能夠並行處理多達三個晶片,設計用於處理苛刻的蝕刻和清潔能力。它使用了一組蠕動泵來精確控制化學浴的流動,允許對被加工的晶片進行精確的電鍍。采用可調電鍍頭,確保塗層均勻地塗在晶片上。INMATEC IMT-PN 120還包括一個多級清潔劑模塊,用於在晶片進入電鍍室之前對其進行清潔。該模塊利用超聲波攪拌和化學清潔劑的組合,徹底清除晶片中的任何汙染顆粒。該模塊還包括一個可調節的噴嘴設計,允許清潔過程的精確控制。IMT-PN 120配備了專用的晶圓映射模塊,用於定位晶圓上的關鍵基板。該模塊利用高度精確的激光掃描繪制出晶片,然後定位並標記晶片的任何關鍵區域。這臺機器還包括一個石墨Asher工具,用於在電鍍之前蝕刻晶片。它利用加熱電阻元件,當與氣體等離子體結合,蝕刻晶片在受控和時間有效的方式。INMATEC IMT-PN 120的最終模塊是晶圓放電模塊。該模塊設計用於處理後快速、方便地去除晶片。該模塊包括一個將晶片輕輕傳輸到可移動托盤的機制,允許從資產中取出無憂的晶片。總體而言,IMT-PN 120是一種先進的高精度晶圓處理模型,非常適合先進的半導體處理。利用針對特定任務而設計的各個模塊,設備能夠為一系列晶圓處理任務提供一致的結果,使其成為尋求高性能晶圓處理系統的用戶的理想選擇。
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