二手 JAPAN ANALYTICAL INDUSTRY / JAI LC908 #293603433 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
JAPAN ANALYTICAL INDUSTRY/JAI LC908是JAI先進的其他晶圓加工設備。它包括優化的設計,它結合了高性能材料、堅固的構造和先進的技術,以幫助確保集成晶圓處理能力。功能包括具有專用負載、預蒸發、反應和冷卻階段的多功能四室配置、0.1-700 Torr的高精度壓力控制範圍以及可配置的壓力和溫度設置範圍,以優化過程控制。這些功能結合了直觀的人機界面和先進的自動化,以促進一致、可重復的操作和可靠、高質量的結果。JAI LC908具有高吞吐量、大晶圓容量和高分辨率成像能力,以及一個易於直接開發工藝和配方的平臺。該系統是為各種晶圓和材料設計的,具有平滑、一致的加工,以優化產量。關鍵特征包括利用紅外技術的高分辨率熱成像、具有超純氧控制的惰性惰性環境、閉環溫壓控制以及動態過程監測分析能力。JAPAN ANALYTICAL INDUSTRY LC908的獨特設計包括0°C至400°C的溫度範圍,非常適合具有挑戰性的材料和高溫晶圓工藝。具有熱成像反射率的熱成像還可以實時監測和控制溫度,確保最佳性能。真空由閉環壓力控制單元維持,允許精確的過程控制。此外,機器的溫度、流量、壓力都可以在同一個腔室內調節。其他功能包括具有快速循環功能的自動裝載/卸載工具和集成的軌道/購物車資產,可有效地裝載、卸載和運輸單個晶片。總體而言,LC908是一種創新、全面的晶圓處理模式,既強大又方便用戶。高精度材料與先進工程相結合,在一定溫度、流量和壓力設置範圍內提供了一致的可重復結果。該設備具有直觀的控制、可靠的過程監控和自動化操作,是現代晶圓制造的理想解決方案。
還沒有評論