二手 JEOL TAM200XM-S #293649787 待售

JEOL TAM200XM-S是一種先進的其他晶圓處理設備,用於集成電路的原型制作和生產。由晶圓加工工具的主要制造商JEOL設計,TAM200XM-S是一個自動化系統,可處理多達200 mm的晶圓。它利用垂直、單級傳輸來攜帶晶片通過其多個工藝室，允許用戶對各種基板進行一致的精確操作。它具有多種用戶操作，包括蝕刻、沈積、離子植入、光刻圖案和熱氧化等。此外,JEOL TAM200XM-S還為溫度、壓力和流量提供了高級控制措施和選項,從而為需要它的過程提供了高度的可調整性。該單元還能夠集成激光幹涉測量和基板加熱器等各種支撐設備。機器有一個集成的CVC+平臺，它為用戶提供了從單個控制面板訪問所有主晶圓處理功能的權限。CVC+還可用於自定義特定配方、設置周期時間、檢查是否正確對齊和計算產量。此外,CVC+能夠監控工具的運行狀況,安排維護和分析數據,以排除在處理每個晶片過程中遇到的任何問題。最後，TAM200XM-S還采用了多種先進的計量能力，包括光學傳感器資產（OSS）和濕式探針。OSS允許在晶片加工過程中對晶片進行過程中的測量,而濕式探針在晶片表面以密集的模式提供廣泛的測量。這與JEOL TAM 200XM-S的可升級軟件相結合,確保用戶能夠隨時了解最新的行業發展。因此,TAM200XM-S為集成電路的原型設計和生產提供了先進的自動化處理解決方案。