二手 KERRY SC 1000CL #148527 待售

KERRY SC 1000CL是一種自動化晶圓加工設備,具有一系列工藝能力,可提高半導體晶圓制造的產量、成本和吞吐量以及安全性。該系統將旋轉晶片加工室與熱墻密封裝置結合在一起。在密封裝置內部，溫度、濕度和顆粒水平被精確控制在每立方英尺10以下。這樣可確保汙染物不會進入加工室,從而保護細膩敏感的晶片表面免受汙染、設備損壞和屈服損失。SC 1000CL還提供了一個集成反應室，用於在晶片上執行氣相過程，如柔性清潔、全氣和ALD過程，如蝕刻、氧化、氮化和金屬沈積。所有必要的氣體都很容易供應到加工室，確保高效和可重復的過程執行。反應室還具有加熱晶片支撐表面和浮動晶片基座，用於處理高達800°C的溫度和± 4°C的可重復溫度均勻性。KERRY SC 1000CL專為量產過程和高端半導體產品的生產而設計。它也可用於需要嚴格控制溫度、濕度和顆粒控制的安全關鍵應用。該單位先進的自動化控制器和軟件協助工程師滿足半導體行業苛刻的規格和安全要求。SC 1000CL還支持遠程監控和數據采集,使其成為長期過程控制項目的絕佳解決方案。該機器還獲得了ISO9001和ISO14001質量及環境標準的認證，提供了安心和改進的全球產品接受度。總之，KERRY SC 1000CL工具是一種先進的自動化晶圓工藝資產，為各種制造工藝提供了高度的工藝可重復性和控制。它是半導體行業安全關鍵型應用和工藝控制的絕佳解決方案。