二手 KINETICS MegaFlow II #9226730 待售
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KINETICS MegaFlow II是一種創新的晶圓加工設備，專為晶圓制造而設計。它能夠容納範圍廣泛的晶圓尺寸達8英寸。該系統利用最先進的先進多級技術，完成了光刻帶、RTP、環氧回填、鉛框鍍等各種工藝。該裝置設計為最佳精度、可重復性、機械穩定性和精度。MegaFlow II從碼頭加載晶圓開始。晶圓可以通過敞開的正面或側面安裝加載。系統配備了一個預先清潔的工作站，用於在任何工藝步驟之前清潔晶片表面。接下來,晶片被轉移到工藝工作站,在該工作站中,根據用戶的需要執行特定的流程。例如，RTP工藝利用熱廢氣，將其排入爐內，以提高晶圓的溫度。在加熱循環中，晶片還與氮氣或惰性氣體混合，以控制溫度，確保熱量分布均勻。背面板工藝還利用熱氣馬達在晶片周圍流動加熱的氮氣進行均勻加熱。KINETICS MegaFlow II也使用高精度的工具來精確測量每個過程之後的晶圓，以確保最佳的質量控制。這臺機器利用數字顯示器幫助操作員監控溫度、壓力和過濾等參數。該工具還具有數據記錄功能,可存儲每個機器操作的數據。這有助於確保流程的可追蹤性。最後，將產生的廢物自動處置在內置廢物罐中。排氣設備會自動排出壓力和熱過程產生的蒸氣。總之,MegaFlow II是一種功能填充的晶圓處理解決方案,為用戶提供了許多優勢。它確保最佳的精度、重復性和精確度；其自動化過程確保了安全和低風險的操作。由於提供了所有的特性，它無疑是晶圓制造最可靠和首選的解決方案之一。
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