二手 KINETICS Megapure 6001 HC #9358271 待售

KINETICS Megapure 6001 HC是一款先進的晶圓處理設備,旨在在全自動、高度通用的配置中提供高吞吐量和卓越性能。該系統包括一個12英寸的高電流熔體（HCCM）反應堆和一個先進的結晶多噴嘴晶體生長單元，允許在範圍廣泛的溫度範圍內運行，從最高350°C到最低300°C。此外，一個12英寸的高電流基板和加熱的載波級最多攜帶三個12英寸的基板，最多20 KJ/m2。6001 HC還配備了直列式液體輸送裝置,可精確輸送整個過程控制所需的必要種子儲備、介質、摻雜劑和熱控制流體。密封的熱室在過程中提供清潔，並用450瓦低熱擴散加熱器加熱。此外，加熱的表面級配備了一個快速鎖定機器，允許晶圓和載流子的快速變化和對準。該工具還包括超靈敏質量流控制器（MFC）和用於精確超高溫氣流的5-十進制分辨率控制,以及多軸慣性力傳感器。這些傳感器能夠在晶體生長過程中自動控制溫度和速度，從而能夠更快、更準確地加工晶片，並每小時生產多達500個晶片。6001 HC旨在提供卓越的性能,並結合一系列安全和環境特性。人機界面（HMI）的設計以及與晶圓廠工具、過程管理、驗證和制造執行系統的完全集成使生產環境易於使用。毒性監測、過濾器和流體置換通知以及工藝變化監測等各種特殊特點確保了安全高效的工作環境。