二手 KOLB PS 03 #9353306 待售

KOLB PS 03是一種晶圓處理設備，設計用於其他半導體應用，如計量、薄膜沈積、包裝、線鍵等高精度任務。該系統的構建是為了在大容量裝配操作中提供可靠和準確的處理能力。PS 03由晶圓處理單元和高精度操作單元兩個主要組件組成。晶圓處理單元由高精度壓電執行器和旋轉級組成，可精確、重復地定位和移動基板。這確保了晶片在加工過程中的精確對準，這對於高產量、高可靠性的生產是必要的。該機還結合了減振和溫度控制，以便在惡劣的環境中精確運行。KOLB PS 03中的高精度操作工具使用精確調諧的微處理器提供快速、可靠和可重復的結果。它的數字控制板允許對各種參數進行編程，以便為不同的過程步驟定制操作。該資產還具有直觀的用戶界面,便於編程和操作。PS 03包含全方位工具，方便晶圓處理。使用靜電夾頭將基板牢固地夾緊到處理單元上，同時使用精密探針測量膜的厚度和電阻率。可以使用模型的集成等離子體火炬、銅沈積和CMP工具執行蝕刻、打孔和熱擴散等工藝步驟。該設備還包括掃描電子顯微鏡等檢查測試設備和其他非接觸式計量工具，以檢查加工後的晶片的準確性和質量。KOLB PS 03能夠滿足高容量、精密晶圓處理應用的需求。其可靠、準確的性能確保了高工藝產量和產品質量，使其成為半導體應用的理想選擇。