二手 KOLB PS07 ST #293642590 待售

KOLB PS07 ST是一種先進的獨立晶圓加工設備，專為半導體工業而設計。該系統用於廣泛的應用，包括晶圓清洗和塗層、加工對準和光刻、濕化學蝕刻和幹膜沈積。該單元的主要部件是真空工作室，通過密封來保持每個步驟的最佳壓力和環境。該工作室采用不銹鋼制成，提供高水平的耐腐蝕性和清潔性。該加工站包含晶片加工的必要設備，如晶片船，在烘烤、光刻塗層、曝光和開發步驟中將晶片固定到位。晶片可以用爐子或熱板加熱。曝光和開發周期由一個完全自動化的流程單元控制。機器人臂用於將晶片從一個加工站精確移動到另一個加工站，並能夠高精度和重復性地進行操作。該機器還包括各種用於過程監測的標準傳感器和儀器，包括在每一步中精確對準樣本的集成視覺工具。視覺資產由光學傳感器作為後盾，光學傳感器檢測晶圓船上晶圓的精確坐標，無需任何人為幹預。KOLB PS 07 ST易於維護，提供了非常精確、可靠和可重復的性能。該模型可用於各種晶片加工應用，包括厚薄膜沈積、濺射、光刻和晶片鍵合。該設備特別適合於高精度部件的批量生產，確保完整的批量一致性和質量控制。