二手 KOMATSU MPG-300 #169315 待售

KOMATSU MPG-300是一種先進的晶圓加工設備，旨在提供高效、精確的晶圓生產。該系統配備了大容量載荷口、多個載荷板、多反射鏡、氣體處理單元、等離子體清潔機。負載端口最多可承載200個晶圓，大小多樣。它還具有先進的控制工具，使用戶能夠在處理過程中控制晶片的精確定位和方向。對於數據通信，資產配備了FOUP（Front Opening Unified Pod）機器人模型和MPI（多媒體協議接口）界面，使用戶能夠從任何現有或新系統控制整體設備。此外，該單元還配備了人性化、菜單驅動的操作面板，使用戶只需點擊幾下即可輕松執行必要的任務。機器的光學柱由自動聚焦工具、多種光學透鏡和濾鏡以及很少的光學百葉窗組成。這允許用戶調整鏡頭依賴的視場，並適應特定的應用。而且，光柱支持多種成像技術，如亮場、暗場、熒光等。它還包括用於關鍵對準的LED和用於長距離工作的光學變焦。該資產采用自動裝卸模型，以提高效率和減少人為錯誤。還配備了先進的氣體處理設備，增強了系統的熱穩定性和性能。這個單元有多種等離子體清洗過程，包括氧氣定時蝕刻和純Ar定時蝕刻。等離子體清洗機的設計是為了經濟地清潔表面晶片，同時提供安全的工作環境。總體而言,MPG-300提供了高效、精確的晶圓處理解決方案。它專為量產而設計，具有用戶友好的操作面板、多反射鏡、氣體處理工具和等離子體清洗資產。各種成像技術和光學元件使用戶能夠針對每一個應用進行精確調整。而且，自動裝卸模式，加上先進的氣體處理設備，提高了效率，進一步有助於減少人為失誤。