二手 KORTHERM SCIENCE KOS-1000L #293664550 待售
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KORTHERM SCIENCE KOS-1000L是一種先進的晶圓處理設備,它將幾種不同的功能合並為一個用戶友好的軟件包。該系統設計用於多種應用,包括單晶和多晶晶片制備、圖樣制作、缺陷檢測、熱釋放和薄膜沈積。它是一個基於單晶片的平臺,能夠處理多達200毫米晶片,具有可重復的過程和數據管理功能。KOS-1000L有幾個關鍵特點使它與競爭對手脫穎而出。KORTHERM SCIENCE KOS-1000L旨在幫助晶圓制備過程自動化。它能夠檢測晶片方向和對齊,讀取對齊標記,標記晶片並驗證對齊精度。它包括晶圓拾取和對準單元、激光蝕刻機和可選的精密機器人臂。這種高度精確的工具不需要手工制備晶片。KORTHERM SCIENCE還通過KOS-1000L提供高分辨率的圖像采集和陣列處理功能。該資產能夠從分辨率高達5,000 dpi的光學顯微鏡中捕獲圖像。它還提供多種圖樣化技術,包括光刻、自上而下、熱壓花和氧化。該模型非常適合制造細線圖案和處理高級幾何形狀。KORTHERM SCIENCE KOS-1000L還提供高級缺陷檢測功能。其先進的顯微鏡設備可以在亞微米級檢測缺陷,包括表面和掩埋缺陷。它也可用於3D曲面拓撲表征、非接觸式熱釋放測量和部分透明層檢查。此外,KOS-1000L還包括幾種薄膜沈積技術,如熱蒸發、濺射沈積和化學氣相沈積。這允許用戶應用單層或多層薄膜,從薄膜到較厚的層不等。該系統還與多種光刻膠兼容,使用戶可以定制沈積過程以獲得最佳產量。KORTHERM SCIENCE強大的設計和精度控制KOS-1000L使其成為晶圓加工的高效可靠單元。它具有先進的自動化功能和復雜的圖像采集和陣列處理功能,是高精度晶圓處理應用的理想選擇。這臺機器允許用戶以最小的操作員幹預實現高產率和一致的可重復性,使其成為半導體制造商、研發設施和實驗室的絕佳選擇。
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