二手 KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF #293663639 待售

ID: 293663639
System.
KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF是一種用於半導體制造的高溫晶圓加工設備。該系統利用先進的晶圓級加工技術,快速準確地形成氧化物圖樣,而不會損壞底層材料。GV1-20HAT-PF使用高溫沈積方法在晶片上覆蓋一層薄薄的材料,如二氧化矽或多晶矽。這是在高溫爐中完成的,在高溫爐中,基板被加熱到850°C以上的溫度。這樣可以確保薄膜均勻地覆蓋晶片,並在整個基板上形成一致的氧化物圖樣。一旦氧化物圖樣形成,KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF使用激光光刻技術將所需圖樣的圖像投影到基板上。這樣做的精度很高,以確保晶片上的特征精確對齊。GV1-20HAT-PF的另一個優點是熱預算低。該單元采用低溫、基於時間的短流程。這使底層材料的熱蝕最小化,可以降低最終產物的產量。此外,低熱預算導致晶片應力降低,保持其完整性和處理後的高性能。KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF的效率也很高,因為它允許晶圓吞吐量每個循環多達10個晶圓。這使得它成為大批量生產的理想選擇。最後,GV1-20HAT-PF配備了一套全面的安全功能。這包括一個防止機器過熱的溫度傳感器,以及一個監視腔室壓力以確保其不超過允許限制的壓力傳感器。綜上所述,KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF是一種高溫晶片加工工具,利用先進的晶片級加工技術,快速準確地形成氧化物圖樣,而不會損壞底層材料。該資產具有低熱預算、高吞吐量和全面的安全功能,是半導體制造應用的理想選擇。
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