二手 LNI SCHMIDLIN NS Sirocco 5000 #94149 待售
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ID: 94149
Nitrogen generator, Part No.: 6AV6-545-OCC10X-OAXO
Based on hollow fiber membrane technology
Separates air into nitrogen and an oxygen-enriched air stream
DS-PSA purification technology
Nitrogen purity up to 99.999%
Continuous read-out of flow and delivery pressure
Manual adjustment of delivery pressure.
LNI SCHMIDLIN NS Sirocco 5000是一種晶圓加工設備,設計用於廣泛的工業和科學應用。該系統利用先進技術對晶片加工步驟的參數提供準確和精確的控制,同時利用基於真空的處理能力,可以提高對大量晶片的可重復性和高效率的處理。該單元由幾個組件組成,每個組件都有助於機器的整體運行。特別的是,Sirocco 5000包含一個溫度控制工具、一個溫度測量單元、一個工藝室和一個用於加載晶片的晶片托盤。控制資產允許手動和自動操作。對於手動操作,操作員將能夠手動調整溫度、時間和壓力設置。對於自動操作,模型能夠響應編程到其中的設置點,從而保護用戶免受任何可能導致結果不準確的手動錯誤的影響。測溫單元集成到設備中,用於在處理過程中監控溫度。該單元讀取工藝室的溫度,並能夠根據需要進行精確的溫度調整,以保持最佳溫度水平。加工室是進行加工的容器。腔室通常由石英組成,允許紅外輻射通過,能夠維持高達600°C的溫度。腔室包含幾個端口,每個端口設計為容納不同尺寸的晶片,允許同時處理不同尺寸的晶片。最後,晶圓盤用於加載、卸載和傳輸晶圓。晶片托盤采用特殊耐熱鋁制成,進一步提高了系統的溫度穩定性。總體而言,NS Sirocco 5000是一個高度先進的晶圓處理單元,適合廣泛的工業和科學應用。機器由幾個組件組成,所有這些組件協同工作,以精確、精確的方式處理具有改進可重復性的晶片。該工具提供了先進的溫度控制,並且可以處理高達600°C的溫度,以實現精確和一致的處理結果。同時,晶圓托盤的使用為整個資產提供了高效、安全的晶圓傳輸。
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