二手 LNI SCHMIDLIN PG-H2 100 #9245687 待售

LNI SCHMIDLIN PG-H2 100是為高精度晶圓制造而設計的自動化、高性能晶圓加工設備。這臺機器適合多種應用，包括生產矽晶片、MEMS、MEMS傳感器、熱電堆和光學半導體晶片。它主要用於晶片的生長後加工，如幹濕蝕刻、清潔、共面檢查、沈積、成熟、摻雜和電遷移。PG-H2 100晶圓處理系統由兩個主要組件組成：和拾取裝置。該單元的拾取放置單元是一個多軸機器人手臂，可伸縮至五個軸，以處理不同的晶圓配置和拾取放置操作。它能夠將晶片精確和可重復地放置在基板上。基板支架是一個可調節的框架，有一個集成的加熱和冷卻機器，允許易於溫度的調整。該工具配有三個主要的晶片處理模塊：化學應用模塊、PVD模塊和真空模塊。化學應用模塊是控制化學蝕刻精度的理想選擇，其應用範圍包括預清潔和清潔操作、噴塗塗層、旋轉塗層和幹蝕刻。PVD模塊是一個真空室，用於金屬、聚合物和電介質的物理氣相沈積，用於沈積鋁和氮化鈦等半導體層。最後一個模塊，真空模塊，適用於包括RIE、離子蝕刻、等離子體清洗、氧化等過程。此資產專為易於安裝、操作和維護而設計,具有直觀的觸摸屏接口和以太網連接。它還帶有強大的數據管理模型和自動作業調度。LNI SCHMIDLIN PG-H2 100具有安全和操作友好的環境,具有完全封閉和通風的外殼,不需要潔凈室,以及符合國際標準要求的先進安全設備。該系統能夠在生產高性能晶片時考慮到精度、清潔度和精確度。PG-H2 100的精度、可靠性、靈活性和安全性使其成為各種晶圓制造操作的理想選擇。