二手 MARCH iTrak #9087090 待售

MARCH iTrak是一款先進的晶圓處理設備，旨在滿足研究和生產環境的需求。它提供了靈活性和可擴展性,以應對最艱難的薄膜和厚膜工藝。該系統圍繞一個集中式RF/DC多向平臺進行設計,使標準化和高級薄膜工藝能夠在相同的高級控制下創建和維護。基板移動采用精確的多軸運動單元,可確保在不同加工站之間傳輸基板時的準確性和可重復性。每個站都有獨立的真空控制，允許在不同真空條件下進行順序蝕刻或沈積過程。射頻發生器用於處理復雜的沈積層或提升層。這臺發電機可以精確調整射頻功率、頻率和占空比。ITrak還包括一個先進的溫度控制機器，以確保適當固化沈積材料。MARCH iTrak還設有浮床氫氟碳化合物軌道處理室，配有PFEC（光氟變色）傳感工具。該腔室可確保將底物沈積到OClV-MASPR底物上時能準確接觸OClVOMe。ITrak具有廣泛的附加模塊,例如OClV-MASPR基板RF模塊、先進的過程控制模塊以及熱波監視器和單獨的加熱器模塊,是高度可定制的。其他專用模塊可實現獨特的應用,如X射線陣列、事件晶片對準和激光示蹤技術。該資產還允許使用綜合軟件包進行流程監控和報告。此軟件從模型中的多個點收集數據,包括溫度控制和RF模塊。這允許用戶一次查看整個過程，從而更容易診斷問題並發現改進的領域。綜上所述,MARCH iTrak提供了現代研究和生產環境所需的靈活性和可擴展性。其集中式RF/DC平臺提供了有效的基板傳遞，而其先進的溫度和RF補償則允許以精確和精確的方式沈積復雜層或升降層。該設備還支持獨特的應用，如X射線陣列和激光跟蹤，以及過程監測和報告能力。