二手 MATEC 10 #293667705 待售

MATEC 10是MATEC GmbH設計的最先進的晶圓處理設備。它旨在提供快速、準確的晶圓加工，在降低成本的同時提高生產率。該系統高度自動化,因此需要最少的手動處理。該單元由幾個物理組件組成。機器的核心是CoreWorks UniGrid（CUWG），它有一系列的機器人技術使它能夠執行各種自動化晶圓任務。它與一個雙軸檢查托盤集成在一起，這使得它可以在處理每一個連續的晶片之前對每一個晶片進行檢查。該工具還設有主動加熱加工室（AWPC），用於將晶圓含量與環境進行熱化學區分，而無需使用手動溫度控制。這允許精確、高質量的晶圓處理。資產可以處理直徑在5到12英寸之間的晶片。它能夠執行各種晶片處理操作，如晶片對準、清潔、紫外線暴露、晶片裝卸、切片和激光標記等。CUWG能夠根據用戶選擇執行單個和組晶圓處理操作。為了保證工藝可靠性，模型連續監控溫度、濕度、氣流、照明水平等相關工藝參數。這有助於確保以相同的方式處理每個晶片，保證一致的結果。該設備還能夠存儲和召回不同的晶圓加工配方，以確保不同的用戶能夠訪問相同的配方。系統會在每個晶圓處理周期後自動清除自身，並可以自我診斷自己以檢測潛在故障，並向操作員發出潛在問題的警報。這有助於確保設備保持在適當的環境條件下並防止出現問題。該機器可靠性高，能夠處理大量的晶片，故障率低。此外，該工具設計為用戶友好和服務友好，使其成為晶圓處理的絕佳選擇。