二手 MEDEC / RIX TCM-2000 #9386201 待售

MEDEC/RIX TCM-2000是一種高度先進的晶圓加工設備，旨在滿足晶圓行業研究人員的要求。該系統能夠處理各種類型的晶片，從正規矽片到電荷耦合器件（CCD）晶片。該裝置設計用於晶圓在各種情況和壓力下的加工，範圍從標準大氣壓到超高真空（UHV）環境。RIX TCM-2000可以處理50毫米到200毫米不等的晶圓大小，並且能夠處理最多200個晶圓。它具有兩個獨立的手動臂，四步裝卸位置，以實現更大的自動化。手動臂的獨特設計，讓晶圓的精確操控和定位。機器的10個加工模塊設計用於處理處於濕狀態或幹狀態的晶片。它的濕工藝模塊能夠處理直徑達200毫米的晶片，而它的幹工藝模塊可以處理多達75毫米的晶片。濕工藝模塊提供化學蝕刻、清潔和擴散工藝，而幹工藝模塊設計用於進行CVD、氧化、CMP、離子註入、激光加工和光刻。該工具配備了多氣體凈化裝置，對活性氣體提供優越的控制，並允許對工藝參數進行精確控制。再者，MEDEC TCM-2000與濕度、溫度等各種環境條件相適應，可以很容易地整合到現有的實驗室設置中。TCM-2000為晶圓制造商提供廣泛的維修功能，如刮擦維修和返工服務。它的設計采用了流程監控資產，以確保最高質量控制水平。該模式還設有一個廢物管理單位，允許安全處置過程中使用的危險化學品。總體而言，MEDEC/RIX TCM-2000是為各種晶圓處理應用而設計的先進晶圓處理設備。它的兩個獨立的手動臂允許晶片的精確裝卸，其10個工藝模塊設計用於處理濕態和幹態的各種晶片。該系統的多氣體凈化能力提供了對活性氣體的卓越控制，而其過程監測單元則提供了質量控制。RIX TCM-2000還與一個廢物管理單位合並，以安全處置危險化學品。所有這些特性使其成為可靠高效的晶圓加工機。