二手 MICRO AUTOMATION 2066SA #9028587 待售

MICRO AUTOMATION 2066SA是一種先進的自動化晶圓處理設備,專為精密和高吞吐量而設計.它以最少的人工幹預支持各種流程序列。該系統非常適合半導體加工，因為它可以容納沈積、蝕刻、清潔和其他基板加工步驟產生的12英寸晶片。2066SA配備了一系列模塊和功能，以支持廣泛的半導體處理。該單元包括負載端口、多室機、過程控制器、負載鎖定、刀具存儲機架和過程監控軟件。它還附帶了對流程和數據分析工具的高級實時監控。MICRO AUTOMATION 2066SA的負載端口能夠在最小的人工幹預下將晶片有效加載到工具中。這是由一個負載鎖資產提供準確和一致的溫度控制支持。它還允許晶片在工藝室之間快速轉移。2066SA多室模型支持金屬化、沈積、蝕刻、清洗等多階段工藝序列。它具有濕法和幹法的特點，在處理各種基材時具有靈活性和準確性。此外,設備還可以處理多達12英寸的晶片,從而以更高的產量實現高吞吐量。MICRO AUTOMATION 2066SA的過程控制器允許精確、實時的過程控制。它提供了對壓力、溫度和坡度等參數的全面控制,以確保準確性和可重復性。此外,控制器還可以與任何真空系統連接,從而實現進一步的工藝優化.2066SA工具存儲機架允許存儲各種流程模塊,從而實現高吞吐量和靈活性。它可以容納多個子模塊，包括等離子槍、高溫計、蝕刻器和冷凍泵。MICRO AUTOMATION 2066SA的流程監控軟件為用戶提供了流程參數狀態的實時反饋。它還允許用戶監控基板性能和產品產量,幫助優化生產。此外,該軟件還包括可視化工具,可快速輕松地分析數據。2066SA是一個功能強大的自動化晶片處理單元，專為高吞吐量和可重復性而設計。它提供了廣泛的高級功能和模塊,使用戶能夠在一系列過程序列中獲得準確、高收益的結果。