二手 MICROCONTROL PFM #9178488 待售
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一個MICROCONTROL PFM(Photo-Flood Materials Processor)是一個最先進的晶圓處理設備,設計用於先進的半導體制造。該系統能夠精確測量和確保先進集成電路和其他經過優化設計的微電子器件的精確制造。該設備是MICROCONTROL的Photo-Flood系列的最新版本,提供了一系列高級功能,旨在提高晶圓制造過程的性能、生產率和效率。它有單軸和雙軸兩種配置,每種配置都提供晶圓的高精度定位,並通過亞微米控制進行極其精確的處理。此配置在雙級和單級設計中為設備提供了高達1.5微米的制造能力。微控制器基於機器的機電一體化高級控制體系結構,這是一個開放的體系結構,可實現快速高效的參數定義,在整個可能的應用範圍內提供對每個刀具軸的高級數字控制。此外,還有一個直觀的操作員界面,可全面了解成功、可重復操作和快速生產高精度半導體產品所需的所有操作條件。PFM還具有一系列專門模塊,包括用於加工的精密研磨和研磨模塊、用於安全和氣候控制的安全訪問模塊以及用於實時過程控制和每個晶片質量保證的質量控制模塊。還提供可選的先進激光計量系統,可對2微米以內的晶圓尺寸進行高精度測量。MICROCONTROL PFM還得益於MICROCONTROL開發的一系列專有工具,這些工具能夠實現先進的工藝控制,如精確的溫度控制以提高產率,以及自上而下或背面的離子銑削深達25微米以創建亞微米的器件結構。PFM具有高性能和全面的模塊和工具,為先進的半導體制造提供了出色的解決方案。
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