二手 MKS 1153A #77147 待售

MKS 1153A是由MKS Instruments Inc生產的最先進的其他晶圓加工設備。該系統旨在減少晶圓上產生集成電路和MEMS設備所需的時間和人工。它是一個經濟高效且用戶友好的晶圓處理解決方案。該單元包括一個堅固的框架和一個用戶友好的觸摸屏控制器。它能夠生產最小特征尺寸為200納米的集成電路和最小特征尺寸為10納米的MEMS設備。機器還有一個強大的3軸機械臂，能夠精確和可重復的運動。它的步進電機可以以0.5微米的定位精度移動手臂，速度高達每秒6米。該工具還利用精確的溫度控制資產來確保晶圓過程中的精確溫度控制。1153A配有多個真空和氣體輸送系統，用於精確可靠的過程控制。真空和氣體輸送系統可以被編程為精確操縱諸如體積、流量、壓力和電導率等過程參數。該模型可與包括矽、玻璃、陶瓷和金屬在內的多種基板以及各種蝕刻劑、等離子體和化學品一起使用。該設備具有先進的監控和安全系統，具有多種警報和安全關閉功能。MKS 1153A是集成電路和MEMS制造業務的理想解決方案。其精確、可重復和高效的性能非常適合其他各種晶圓處理技術。該設備對於任何已建立的電路和MEMS制造業務都是非常可靠和經濟高效的。