二手 MKS / ASTEX Astron ex #293647823 待售

MKS/ASTEX Astron ex是一種精密自動化晶圓處理設備，專為最具挑戰性的前端和後端應用而設計，包括光刻和電鍍。該系統提供靈活性、高吞吐量和小占地面積,同時滿足最嚴格的精度要求。MKS Astron ex提供了各種各樣的工藝模塊來容納任何類型的晶圓，包括標準、定制和超高密度晶圓。ASTEX Astron ex具有直觀的觸摸屏界面,易於操作。它以創新的8站批量處理技術，能夠每小時處理多達200個晶圓。精密的多軸運動能力使機器在模式對準方面達到亞微米精度，配準精度為+/-0.6 μ m，厚度精度為+/-0.4 μ m。Astron ex的獨特功能包括晶圓質心的自動對準、自動聚焦控制、動態人臉檢測和對準以及自動化的系統過度掃描。單元操作員可以在過程之前或過程中客觀地檢查每個晶片的對齊情況，並控制進出晶片的汙染量。此外，該機器還設計了多種可選的高級模塊功能，如高精度電鍍、晶片對晶片聯網、防汙染步驟以及多個晶片處理系統。MKS/ASTEX Astron ex的模塊化設計還允許方便的升級和功能添加，使用戶能夠快速配置機器以滿足他們的特定需求。MKS Astron ex先進而堅固的工具，讓製造商以安全高效的方式處理具有優異重復性和均勻性的高密度半導體器件。它模塊化的設計和直觀的操作使得它成為最具挑戰性和最復雜的晶片應用的理想選擇。