二手 MKS ASTeX FI20620-1 #9165070 待售

MKS FI 20620-1是一種先進的晶圓加工設備，設計用於半導體工業中的濕化學過程。該系統具有獨特的就地流（FIP）設計,可同時處理多個晶片。與傳統的單晶圓處理系統相比,這允許增加吞吐量和縮短周期時間。該單元一次最多可容納15個晶片，具體取決於具體的應用要求。機器由一個工藝罐、一個傳輸臂、一個分配單元、一個控制器、電源和一個過濾器/調節器組成。工藝罐采用優質不銹鋼制成，密封方便高效的工藝循環。坦克內部有一系列單獨的腔室，通道連接它們。轉移臂用於將晶片從一個腔室移動到另一個腔室。分配單元用於將所需的化學品精確準確地分配到加工罐中的確切位置進行處理。控制器是工具的「大腦」，負責協調傳遞臂的運動、工藝罐的溫度、工藝化學和真空壓力。這樣可以確保以最大的可重復性準確地執行過程。控制器還可以用來監控進程的進度，從而使結果更加一致。MKS FI20620-1還具有先進的電源設備,可為資產提供可靠的電壓和電流。這樣可以確保有效且高度一致地執行流程。過濾器/調節器也是一個重要組成部分，因為它有助於確保在處理過程中達到正確的氣體、溫度、壓力和真空水平，從而最大程度地提高可靠性。FI 20620-1是一種高度先進的晶圓加工模型，設計用於半導體工業中的濕化學過程。它具有獨特的FIP設計,可提高吞吐量、高精度和可重復性,並且一次最多可處理15個晶圓。它還配備了先進的電源和一個過濾器/調節器，用於為設備提供可靠的電壓和電流，並確保達到正確的氣體、溫度、壓力和真空水平。該系統是各種半導體工藝的強大而高效的工具。