二手 MKS ASTeX FI20620-1 #9165071 待售

MKS FI 20620-1是為高精度、高通量操作而設計的其他先進晶圓處理設備。該系統能夠處理直徑達300毫米的晶片，並配有四個加工室以及兩個獨立的真空系統，以確保可靠性和精確度。此外，該裝置還有一個精密的機器人臂，能夠精確地放置和取回每個晶圓，最大位置精度為5微米。該機器還具有一個名為DELTA®的高級圖形環境控制軟件包。此控制包包含多種功能,為用戶提供可針對特定流程進行優化的配方和設置選擇。這種廣泛的功能使用戶能夠創建簡單或復雜的配方,從而輕松優化晶圓加工配方以獲得產量和吞吐量。MKS FI20620-1還包含各種復雜的晶圓處理選項。這包括加載過程中用於保持晶片的卡盤對齊、自動預對齊和修補程序檢查等過程。該工具還包含預對準和光片檢查功能，因此可以調整工藝配方以包括對準要求。此外,該資產還具有一系列特殊功能,旨在優化工藝穩定性、產量和吞吐量。這包括一個增強的晶片傳感程序，該程序監測晶片軸上輪廓誤差，穩定工藝基礎環境，以及壓力控制和二階跟蹤，以便在前端進行工藝穩定。總體而言,FI 20620-1是一種功能強大且精確的其它晶圓處理模型,它使用戶能夠創建復雜的配方並優化流程以提高產量和吞吐量。該設備具有多種復雜的晶片處理、離軸對準、預對準和光片檢測功能,並具有增強的晶片傳感程序,使其成為精確、高通量操作的理想選擇。