二手 MKS ASTeX FI20620-1 #9204069 待售

MKS FI 20620-1是其他晶圓處理設備的一種，廣泛用於精密晶圓處理應用。該系統由世界領先的分析和過程控制儀器制造商之一MKS Instruments提供。MKS FI20620-1是一個多合一單元，是一個單臂機器人，集成了各種基於晶圓的處理的自動化處理選項。該刀具的機器配置包括氣缸、框架組件和中央處理器（CPU）。氣瓶用於晶片處理作業中的口罩和晶片對準。它有一個單臂機器人，能夠同時處理多達三個任務。框架組件負責在晶圓處理操作過程中提供必要的安全保護。CPU控制資產所有元件的操作，包括氣瓶、框架組件和單臂機器人。FI 20620-1的特點包括多級真空晶片處理、包括自旋蝕刻和後蝕刻在內的一系列自動化處理操作、一系列OVF清洗和沈積過程以及晶片驗證。它還能夠進行先進的晶圓掃描和分析，並具有內置的數據采集和顯示模型。此外，設備采用安全元件，確保系統運行過程中的安全。總之，FI20620-1是一個用途廣泛、可靠、高效的晶片處理單元，非常適合精確的晶片處理應用。它具有堅固而強大的氣缸和框架組件,以實現最佳的安全性,以及先進的單臂機器人,以提高生產率。這臺機器提供的自動化加工操作非常廣泛，包括自旋蝕刻和後蝕刻、OVF清洗和沈積工藝、先進的晶圓掃描和分析以及內置的數據采集和顯示工具。因此，MKS FI 20620-1是精密晶圓處理操作的理想資產。