二手 MKS ASTeX FI20620-1 #9204070 待售

MKS ASTeX FI20620-1
ID: 9204070
2L Remote plasma source.
MKS FI 20620-1是一種其他晶片處理設備,能夠實現晶片的高通量處理。該系統是一個模塊化的自動化平臺,可用於各種應用,如晶圓變薄、材料沈積、濕法和幹法蝕刻、制圖和表面處理。MKS提供的高效設計和先進的過程控制技術FI20620-1實現前所未有的吞吐量和可靠性。FI 20620-1是一個集成單元,包含一系列用於所需處理的各個步驟的腔室。它由一個高端控制器、一個運動控制包和一系列可以定制以滿足特定應用需求的處理模塊組成。一個高價值的真空泵站也與單元集成在一起,以確保工藝室的高效疏散。獨特的FI20620-1設計允許晶圓加工的高通量。這臺機器是為在腔室之間快速轉移材料而設計的.此外,還可以根據所需的輸出對流程設置進行微調。這可以通過采用先進的模模反饋來實現。這樣可以確保在整個處理過程中精確地維護指定的參數,從而獲得更高質量的產品。MKS FI 20620-1的模塊化設計是一個優勢,因為它允許用戶根據自己的需求定制工具。這允許用戶選擇所需應用程序所需的光學、物理和化學過程的正確組合。此外,資產還配備了許多診斷功能,使用戶能夠監控模型的功能和性能。最後,設備為用戶提供了高度的安全性和可靠性。晶片處理系統通過了最高安全標準的認證,確保設備的運行不受汙染或損壞加工過的晶片的風險。此外,該機器還具有多種內置的安全機制,可以防止錯誤、事故和故障。綜上所述,MKS FI20620-1是一種可靠、高效且高通量的其他晶圓處理工具。它配備了先進的控制器和運動控制包,在處理晶片時能夠實現高度的靈活性和準確性。模塊化設計允許用戶根據自己的特定需求定制資產。最後,該模型通過集成的安全機制為用戶提供了高度的安全性和可靠性。
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