二手 MKS FI 80131 #9165072 待售

MKS FI 80131是另一種由MKS Instruments開發的晶圓處理設備。這種自動晶片處理系統旨在為每個處理過的晶片提供可靠、可重復的性能。它采用集成設計,使單個機器人能夠將每個晶片或晶片堆棧從負載端口傳輸到加工室。自動傳輸臂將每個晶片定位在腔室的加工區域中,從而能夠根據晶片的尺寸、材料和厚度準確確定工藝參數。MKS FI80131的腔室裝有一個高壓化學氣相沈積（CVD）單元，為一致、均勻的晶片塗層提供了最佳條件。泵降速度可調，以適應不同的工藝要求，可以在壓力和真空模式下操作。另外，腔室的溫度範圍在-20°C至+400°C之間是可調的，使其適合於氧化、氮化、退火和擴散等多種過程。這臺機器還配備了全自動隔離閥（IPV）工具，這是一個安全功能，允許腔室內的任何被困氣體迅速返回大氣層。IPV資產還有助於將預定的氣體量引入腔室，從而能夠形成具有可重復厚度的精確定義層。為確保晶片層的最大質量和均勻性,此型號配備了高級軟件包,可完全控制所有工藝參數。該軟件允許用戶輕松存儲工藝配方、調整設定點以及監控晶圓溫度、壓力和降泵速度。實時監控和測井功能還使用戶能夠記錄每個晶片層的溫度、壓力和沈積速率等重要腔室條件。FI 80131非常適合用於學術和工業晶圓制造環境,既可靠又易於操作。其創新的設計和集成的軟件設備確保了晶片層一致性和質量的最高水平，使其成為任何晶片處理應用的理想選擇。