二手 MKS FI80132 #293628188 待售

MKS FI80132是一種用於半導體和MEMS制造的高功率自動化晶圓加工設備。該系統旨在在各種各樣的環境中快速加工晶片，並支持多種制造技術，包括PECVD和ALD。FI80132單元裝有直徑300毫米的晶片托架、滑出晶片盒和300毫米晶片負載鎖。它是一種多功能、高性能的機器,可以擴展以適應各種制造要求。該工具使用真空桶定位和定位晶片進行處理。它使用可編程的x-y晶片級在多個加工站間移動晶片批次。這使得大批量晶片可以在短時間內快速處理。資產配備了幾種自動化功能，如條形碼掃描和模式識別。這樣可以減少晶片的手動處理,從而提高效率。此外，高工藝溫度的保持得益於先進的大氣和溫度包。該模型還采用了自動清洗/清潔工藝，可提供卓越的晶圓清洗效率。該設備還配備了先進的晶圓傳輸系統，可沿大型加工路徑提供快速、可靠的傳輸。MKS FI80132是一種超高真空裝置,如果配置正確,能夠達到25 mTorr的基本壓力。這對於防止可能破壞過程的顆粒形成很重要。先進的氣體機和氣流控制器進一步降低了顆粒汙染的可能性。該工具還配備了多種流程監測系統，包括用於檢測/識別流程目標的全方位紅外和激光系統。這提供了精細的過程跟蹤,可以進行高效的分析和控制。總體而言，FI80132是一種自動化晶圓處理資產，旨在促進高效可靠的半導體和MEMS制造。它是一個融合了條形碼掃描、模式識別、清除/清洗過程、氣流控制器和過程監視器等多種先進技術的創新模型。這種功能組合極大地提高了處理效率,從而加快了上市時間並降低了成本。