二手 MKS Revolution Series #9103292 待售

MKS Revolution Series是一個完整、集成的生產平臺，用於其他晶圓處理。Revolution系列專為過程控制和過程集成而設計,在一系列配置中提供卓越的性能和更高的可靠性,以滿足當今不斷發展的晶圓處理的需求。通過結合最新的硬件、軟件和技術,MKS Revolution系列平臺為所有其他晶圓處理應用程序提供端到端的過程控制。Revolution系列具有集成的高溫快速熱處理（RTP）室,可用於晶圓的最新生產。該平臺為需要極其精確的晶圓處理條件和最大吞吐量的應用程序提供了無與倫比的準確性和可靠性。高精度的數據捕獲和過程執行功能能夠實時監控晶圓過程參數和性能。MKS Revolution系列還為過程優化提供了高級功能。它的多感測過程監測系統提供了對一系列過程參數的準確和全面的控制。Revolution系列包括用於快速可靠晶圓操作的高級內存管理功能。其先進的溫度控制機制可確保對過程溫度的精確控制,從而實現過程中所有晶片的溫度均勻性。此外，MKS Revolution Series配備了用於高級等離子體蝕刻、激光燒蝕和掩蔽處理的大功率射頻發生器模塊。其快速開關射頻電源可實現高達20 MHz的實時功率調節,有助於優化過程控制和優化晶圓性能。Revolution系列具有獨特的高精度光學工具集,具有各種鏡頭和舞臺,可在晶圓處理過程中精確對準。該系列的集成、低功率激光器提供卓越的晶圓接合精度和高精度脈沖控制。晶圓處理和處理系統的組合確保了最大質量性能。MKS Revolution系列是現代高性能其他晶圓處理的理想平臺。其強大的功能為晶圓處理應用程序提供了過程穩定性和終極控制。憑借強大的設計和先進的功能,Revolution Series為其它晶圓處理提供了更高的產量和更低的擁有成本。