二手 MKS RPS 2L #9052456 待售

MKS RPS 2L是一種多晶片、高通量、晶片處理設備，專為滿足後端半導體工藝日益增長的需求而設計。RPS 2L是為高精度晶圓處理而構建的功能齊全的晶圓工藝系統。針對RTP（快速熱處理）、ECD（電解化學沈積）、光刻和濺射等精密應用進行了優化。MKS RPS 2L提供高精度、少缺陷、提高產量和工具可用性。RPS 2L具有直觀的HMI,可在最短的安裝時間內輕松操作和控制過程。該設備能夠在單個盒式磁帶中處理多達200毫米晶片,從而實現了巨大的吞吐量和高產量。此外,它還提供了對均勻性、溫度和工藝時間的精確控制。這臺機器還配備了自動晶圓傳輸,最小的手動處理.這有助於減少汙染,並為廣泛的生產需求節省成本。此外，MKS RPS 2L采用耐用不銹鋼制造，具有高效的熱管理，降低了擁有成本。它還提供了出色的溫度均勻性跨晶片改進過程控制和精度。為了進一步優化效率,該工具還具有集成真空室,可最大程度地減少晶圓溫度變化,並減少由於維護要求而導致的停機時間。最後,RPS 2L采用模塊化設計,是資產升級或擴展的理想選擇。這樣可以快速周轉和節省成本,並且可以靈活地滿足各種需求。總體而言，MKS RPS 2L是一種有效、高精度的晶圓工藝模型，為廣泛的後端半導體工藝提供了完美的解決方案。