二手 MODICON M100D #9058165 待售

MODICON M100D
製造商
MODICON
模型
M100D
ID: 9058165
Cyberline digital servo drives.
MODICON M100D是一種中等功率的多用途晶片處理設備,旨在為各種基於矽的元件提供最高的精度和速度。其高效可靠的運行使其成為廣泛應用的理想選擇,如內存技術、高功率光伏設備、微處理器等。M100D配有四個晶圓加工站,最多可同時處理四個晶圓。該站可配置為執行酸蝕刻、濕蝕刻、幹蝕刻、反應性離子蝕刻(RIE)、等離子體蝕刻、熱處理、濺射沈積等多種工藝操作。該系統還包括高達200 °C的精確溫度控制、高達+-200伏的高壓控制、高精度氣態分布以及自動晶圓處理單元。為了確保可重復、準確和可靠的結果,MODICON M100D依靠其堅固的真空室進行優化,以適應快速可靠的循環時間,減少粒子產生,提高產量。其用戶友好的圖形界面允許簡單的操作和維護,而直觀的設置和監控過程簡化了操作。除了多用途的晶片處理能力外,M100D還包括先進的監測系統,這些系統對關鍵的處理參數提供全面的監測和分析,允許實時行動以確保最高質量的結果。它還具有集成的信息機器,可以記錄和存儲關鍵的處理參數,並且可以遠程訪問以進行安全的查看和控制。MODICON M100D提供了可擴展的生產選項,結合其可靠和精確的操作,以滿足各種應用程序的需求。結合用戶友好的功能、高級診斷工具和可靠的周期時間,M100D是許多高級晶圓處理應用程序的有效解決方案。
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