二手 OMEGA CN-9000A #123431 待售
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OMEGA CN-9000A是一種多功能晶圓處理設備,提供多種功能以滿足各種應用的需求。它配備了一個控制器,能夠控制多達五個不同的晶圓傳輸和處理模塊,並執行必要的功能以實現優化生產。它設計用於半導體和薄膜生產過程,能夠加工矽、氮化物、多晶矽等材料以及微米級底物稀釋。該機器能夠一次處理多達200毫米的8個裸晶片,總工藝速度高達每小時1400個晶片。其最大晶片厚度為6mm,最小厚度為150微米。該系統配備了高精度的六軸機械臂,可實現一系列精密工藝。此外,該單元還配備了四個獨立的集群模塊,可以容納專門的加工工具,如清潔、拋光、塗層等。CN-9000A提供了廣泛的功能,允許用戶自定義其生產過程。它設計用於多種應用,包括化學機械平面化(CMP)、等離子體增強氣相沈積(PECVD)、離子植入、熱處理等等。此外,該機器能夠處理各種材料,從矽和鈦到金屬和合金。為了確保準確和一致的生產,OMEGA CN-9000A具有一些安全特性,有助於確保晶片和操作員的安全。該工具采用工廠級的沖擊和振動感應資產,以及其他內置的安全功能,可檢測各種可能的模型故障。該設備還具有全方位的自我診斷和檢測功能,可提供高精度和準確性。總體而言,CN-9000A是一個可靠可靠的晶圓處理系統,它提供了一系列功能和特性,以滿足各種應用程序的需求。它設計用於半導體和薄膜生產過程,並配有一個控制器,能夠控制多達五個不同的晶圓傳輸和處理模塊。此外,該機組還配備了一系列安全功能,以確保操作員的安全和生產的一致性。
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