二手 ORBOTECH Precise 800 #9312577 待售
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ORBOTECH Precision 800是一種晶圓處理設備,用於光伏、MEMS、金屬化和印刷工藝的各種應用。它提供了一個高精度的自動化平臺,為要求最苛刻的應用程序提供可靠和可重復的晶圓處理結果。精確800包括一個高精度的6軸機器人系統,集成到一個緊湊和空間效率的物理設計。它在集成的接收床上提供最大400 x 400 mm的非水平工作區域,可根據需要進一步容納更大的基板。機器人提供800毫米的觸角,最大方向精度為2微米,分別為x、y和theta。這樣可以高效、準確地放置和拾取各種操作員或分期區域的基板。ORBOTECH Precision 800還具有高速線性運動級,提供400毫米的線性運動範圍和20微米的精確精度。這樣就可以快速準確地轉移放置在集成接收床上的基板。集成線性運動級進一步提供了比使用常規電動級的解決方案更高的速度。此外,Precision 800具有高速、高精度的運動控制單元,提供出色的晶圓對準和放置性能。這樣可以確保在所有方向的基板上進行準確和高效的晶圓處理。此外,機器還提供集成的內存和運動控制功能,使可重復和精確晶圓處理操作。總之,ORBOTECH Precision 800是一種高精度晶圓處理工具,旨在滿足各種光伏、MEMS、金屬化和印刷應用的要求。該資產提供了一個集成的機器人、線性運動階段以及高速和高精度的運動控制模型,允許可靠和可重復的晶圓處理結果。
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