二手 PBT Miniclean #9313059 待售

PBT Miniclean設備是一種全自動、高精度的晶圓清洗系統，提供了一種安全、可靠、經濟的半導體晶圓集成電路開發制造方法。該裝置包括一個沖洗前站、一個加熱的單級噴霧清洗站和一個沖洗後站。在預沖洗站，進入的晶片用洗滌劑溶液預先清洗，然後用去離子水沖洗，從而清除其表面的總顆粒物碎片。在加熱的單級噴霧清洗站，晶片在特定溫度下暴露於蝕刻劑或清潔劑中。這樣做幾分鐘，根據應用可能會使用各種蝕刻劑。在蝕刻過程之後，晶片被提升到一個溫度，使清潔劑和晶片表面殘留的任何顆粒物都能徹底沖洗掉。最後，沖洗後站用於幹燥晶片。Miniclean還配備了獨特的機器人晶片處理機，用於晶片的精確定位，以及集成的晶片裝卸站，便於處理。該機器人工具具有安全聯鎖資產,可保護操作員免受設備故障造成的事故,以及汙染控制模型,該模型可回收、過濾和蒸餾清潔劑,以提高利用率。該設備還包括一個真空系統，用於在必要時改變清洗室的壓力，以及一個專門的晶圓監測裝置，用於檢測和記錄清洗過程中發生的任何缺陷。機器采用手動、半自動或全自動模式操作，為用戶提供對溫度、清洗時間、漂洗化學等工藝參數的全面控制。使用PBT Miniclean結合一流的工藝配方，操作員可以實現無缺陷的清潔，降低運營成本。此外，其用戶友好的設計允許簡單的安裝和維護。該工具適用於潔凈室環境，可用於從掩蔽、洗滌到蝕刻、化學/機械拋光等多種晶圓加工應用。