二手 PBT Super Swash #9291036 待售
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PBT Super Swash™是另一種先進的晶圓處理設備,旨在提供高端、高度自動化的精密晶圓處理。該系統通過將強大的直線電動機驅動的Z軸與精確的螺旋齒輪機構相結合提供極高的精度,從而在各種晶圓處理應用中實現快速準確的運動。即使在處理復雜的幾何和具有挑戰性的多層結構時,這種組合也能實現控制和準確性。超級Swash™是一個模塊化單元,包括多個子系統,包括一個溫度控制的晶圓存儲和轉移區域。晶圓儲存機連接到線性運動工具,該工具控制晶圓移動平臺在各種晶圓處理操作過程中的運動。線性運動資產采用螺旋齒輪模型,為高速和低速提供精確、精確的運動。設備包含幾個組件,包括編碼器、伺服控制和馬達。PBT Super Swash™還包括一個強大的脈沖發生器,產生一系列非常短但強大的電脈沖,脈沖電流流經驅動馬達。這種脈動用於減少驅動電機中產生的共振,並導致更高的精度和精確度。此外,此高級系統在每個操作周期中不斷監視和優化設備性能參數,以確保過程始終以最高效率運行。超級Swash™設計用於處理各種晶圓處理操作。該機器能夠執行復雜的任務,如:研磨、拋光、鉆孔、切割、激光加工、蒙版加工、蝕刻工藝和光刻工藝。該工具還可用於氧化物層沈積、晶圓計量和陶瓷基板加工。它能夠準確處理各種材料,因此非常適合許多應用。PBT Super Swash™的設計也考慮到安全性。該資產采用故障安全模型進行設計,以保護晶圓處理設備免受潛在機械故障的影響。它使用傳感器和增強的安全系統來防止任何潛在的問題發生。它還設計用於在任何意外操作或條件下關閉。超級Swash™提供無與倫比的精度和控制,非常適合執行各種晶圓處理操作。它為操作員提供了更高的安全性、更高的準確性、更長的周期時間和成本節約。通過提供可靠高效的晶圓處理系統,該單元為許多應用提供了可行的解決方案。
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