二手 PERKIN ELMER / WALLAC Trilux Microbeta 1450 #195143 待售

PERKIN ELMER/WALLAC Trilux Microbeta 1450是一款最先進的其他晶圓處理設備,設計時考慮到了最高的性能和可靠性。它具有三軸、高精度、氣動驅動的晶圓傳遞機器人，用於可靠、精確的晶圓定位和處理。該機器人設計獨特,允許晶圓在XY和Z平面中旋轉。此功能提供了極大的靈活性,並允許系統用於各種應用程序。此外，機器人可以編程為以最佳速度移動，以確保精確的精度和可重復性的運動，所有這些都不犧牲速度。WALLAC Trilux Microbeta 1450設有使用多個加熱獨立區的先進熱處理站。它還設計了一個專用的表面采集站，允許自動調節卡盤溫度和處理參數，如射頻功率和偏差。此功能有助於實現卓越的一致性和生產率,同時降低成本。此外，PERKIN ELMER Trilux Microbeta 1450提供了一個精確和自動化的液體分配站，用於可靠和可重復的液體化學分配。此功能使設備可用於多種濕法過程,如化學蝕刻、表面處理和塗層。最後，Trilux Microbeta 1450具有視覺增強精度檢查，為全面的晶圓質量控制提供了確鑿的結果。總體而言，PERKIN ELMER/WALLAC Trilux Microbeta 1450是一種理想的其他晶圓加工機，用於高通量和高精度的操作。其機器人晶片傳輸、先進的熱處理站、液體分配站、視覺增強精度檢測，都有助於提供最高可靠性的優異效果。該工具非常適合於各種行業的應用，包括半導體和電子制造、太陽能光伏和生物醫學工程。