二手 PNT 15C-HS-IRU-800 #9308424 待售

PNT 15C-HS-IRU-800是一種專門的晶圓加工設備，旨在支持現代集成電路精密基板的高效制造。該系統配備15英寸晶圓載波單元、多區高速紅外加熱（HS-IR）燈，以及能夠在加工過程中精確控制溫度和濕度條件的閉環冷卻機。15C-HS-IRU-800工具的核心是其高精度的加熱/冷卻資產。該型號采用石英紅外（QIR）加熱器,可提供高達900 °C的均勻加熱,並配備高達1,200升/分鐘冷卻水流量的高流量冷卻設備。該系統通過直觀的用戶界面實現自動化,使操作員能夠使用幾個簡單的命令來控制所有參數。該裝置設有自動廢物收集機、熱圖和三維模型查看器，可實時查看晶片底面。PNT晶片載體工具被封裝在密封的加工室中，具有10微米的分辨率，用於精確的基板運動。它支持高達15英寸的晶片，可以很容易地升級為更大的基板。載波資產支持多種應用模式，如圓形或直線運動。它也很容易針對不同的基材形狀和特定的應用要求進行定制。該模型支持多區域和多角度加熱/冷卻操作。HS-IR燈提供高達900°C的高功率均勻加熱,並對每個區域進行獨立控制。燈具對環境條件敏感，如濕度，設備可自動相應調整加熱過程。該系統還可以為更高的溫度配備額外的集中供暖選項。PNT 15C-HS-IRU-800是一個精心設計和徹底測試的單元，旨在支持最高質量和精密的晶圓制造。它提供高效的處理、精確的控制和可靠的性能。本機附有延長保固及全面的技術支援包。該工具非常適合高精度晶圓加工至關重要的集成電路制造。