二手 PVA TEPLA / GEMETEC / HOLOGENIX WSPS-3 #9257414 待售

PVA TEPLA/GEMETEC/HOLOGENIX WSPS-3晶圓加工設備是一種先進的工業工具，旨在支持全方位的微電子器件制造工藝。它具有集成的機器人系統和各種先進的過程控制技術，以及一個優秀的過程配方庫。該設備經過優化,可高效、精確和可重復地生產復雜的電子和光子學設備。該機包括一個集成的3軸機器人處理單元，可以移動180毫米晶圓和圖樣傳輸/沈積子階段，具有精確的運動控制和精確的晶圓位置/方向。它還提供三個腔室和一個匹配的晶圓傳遞腔室，允許精確的溫度、壓力或真空控制。該工具具有直觀的用戶界面和強大的編程和數據采集軟件包,可輕松設置用於掩模對準、沈積、氧化蝕刻、抗開發、濕洗和幹洗、激光制圖和集成其他定義的工藝序列的工藝配方。集成控制資產旨在保證精確的過程控制和可重復的結果，從而確保最大的性能和收益。它允許沈積、對準和光學蝕刻以及掩模制作完全自動化。它有多達48個單脈沖或雙脈沖過程，對多個腔室的變頻控制，可變時間控制功能和粒子過濾。其激光光刻能力包括Gen2激光制圖、交替激光制圖和低k介電蝕刻。該模型還通過目視檢查設備提供高級流程監控功能。GEMETEC WSPS-3還具有出色的安全功能,例如安全帶、所有過程模塊和機器組件上的緊急停止按鈕。它滿足高精度要求，具有低壓操作、最小熱輸出和高性能等某些特性。具有優良的熱管理系統,可改善熱分布,改善層均勻性.該單元還與自動化測量儀器兼容，使其成為復雜晶圓加工的絕佳選擇。