二手 QUORUM TECH / BIO-RAD / POLARON E3100 Jumbo #126397 待售
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QUORUM TECH/BIO-RAD/POLARON E3100 Jumbo是一款用途廣泛且可靠的其他晶圓處理設備,專為滿足光刻和薄膜市場的苛刻需求而設計。該系統具有高功率工業級激光源和控制器,可達到超過40焦耳的脈沖能量和高達12 kHz的脈沖速率。這些特性為先進的薄膜結構和直接寫入光刻應用提供了精確、可重復的模式傳輸。該設備還具有精密XY掃描級,可提供高精度的納米級3軸控制。舞臺運動範圍為40mm,分辨率為0.5微米。此外,舞臺具有0.2微米的重復性,能夠達到高達300毫米/秒的速度。該機還具有高性能的可編程曝光頭,它為直接寫入光刻和掃描應用提供了一個強大的光路。磁頭的光學放大倍數可達22倍,數值孔徑可達0.45,可對小至0.1微米的特征進行成像。該工具還配備了廣泛的附件和外圍設備,包括用於監測發射激光光束質量的光束診斷包、用於設置激光參數的掃描儀控制器,以及能夠控制模型體積溫度以實現最大設備穩定性的專用冷卻資產。最後,系統設計為以獨立模式或網絡配置運行,以實現最大效率。在聯網配置中,設備可以連接到可選的PC控制器,允許對機器進行遠程控制和管理。總之,BIO-RAD E3100 Jumbo是一種強大、耐用、可靠的工具,可滿足先進的光刻和薄膜加工需求。憑借其精密和精心設計的組件和功能,該資產能夠在廣泛的應用程序中超出預期。
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