二手 RICOR BS31A005A #9314241 待售

RICOR BS31A005A是為各種應用而設計的先進晶圓處理設備。這是一個高度可靠的系統，提供最佳的性能和耐用性。該單元由兩個組件組成：掃描儀和工藝室。該機的主要部件是光學掃描儀--一種具有高精度X射線聚焦光學元件的精密掃描儀。掃描頭配有彩色CCD相機，能夠捕捉精細細節，檢測晶圓表面的微妙缺陷。該掃描儀的設計目的是對直徑不超過375毫米、厚度不超過25毫米的晶圓表面進行高速、精確的掃描。該工藝室設計用於容納掃描頭，並包含各種專門的工藝模塊。配備高速轉盤臺、運動臺、加熱平臺、真空泵等。該室的運動階段設計用於精確控制基板位置，從而實現所需的加工參數。而且，高度精確的加熱平臺確保整個腔室的溫度分布均勻，使得晶片的處理均勻。此外,還建立了安全鎖和密碼驗證等安全功能,以保護晶圓處理工具免受未經授權的訪問。此外，先進的數據記錄和分析能力能夠跟蹤與進程有關的事件，並為進一步分析收集數據。總之，BS31A005A是一種先進的晶圓處理資產，專為各種應用而設計。它具有高速、精確的掃描、統一的處理以及最重要的安全訪問功能。利用其功能，對模型進行了優化，以提供高效、可靠、精確的晶圓處理。