二手 RITEC BR-640 #293667694 待售

RITEC BR-640是為半導體和MEMS應用而設計的先進晶圓處理設備。該系統設計堅固，可加工直徑達6英寸的晶片，並具有各種功能，可滿足晶片級加工的要求。該裝置采用雙進動渦輪分子設計的強大真空，為工藝室提供穩定一致的環境。它還具有先進的等離子體發生器和集成的自動調諧模塊，以提高等離子體均勻性。該機包括一個冷卻工具，旨在保持室內恒定溫度，以及一個單獨的超低壓調節器，以更好地控制工藝參數。沈積資產配備了多種氧化沈積源，使其能夠處理各種先進的工藝配方。它具有執行各種過程的能力，包括氧化、化學氣相沈積（CVD）、原子層沈積（ALD）、物理氣相沈積（PVD）、反應性離子蝕刻（RIE）和離子銑削。該模型是為最大程度的過程靈活性而設計的，包括一個復雜的自動化設備，允許用戶編程復雜和復雜的蝕刻和沈積配方。該系統具有強大的視覺單元，可提供晶圓表面的高分辨率成像。這使操作員能夠輕松地監視武器生產的不同階段，並確保高質量的產品。機器還包括先進的粒子控制監控，確保在過程之前和過程中清除任何不需要的粒子。該工具的設計便於使用和維護。它包括集成的維護工具和自動清洗，以確保資產始終處於最佳狀態。它還包括一個高級診斷模型,使操作員能夠在產生重大問題之前快速輕松地識別任何潛在問題。總體而言，BR-640是一種先進的晶圓加工設備，旨在滿足半導體和MEMS應用的苛刻要求。它旨在為各種晶圓和復雜的工藝配方提供靈活而強大的工藝。該系統還易於使用和維護，具有先進的視覺單元和粒子控制監控，以提高工藝質量和效率。