二手 ROBOTTONICS ZMU 100P2 #293622168 待售

ROBOTTONICS ZMU 100P2是一種先進的晶圓加工設備，設計用於晶圓平面化和平滑的精密自動化。該系統采用專有的兩相IC工藝，結合低壓化學機械平面化（CMP）和先進的表面拋光技術，產生光滑、均勻的表面。該單元配備了以可調節速度移動的高精度機械臂，可以對圓形和方形晶片進行精確處理。機器人可以按照特定的模式進行編程，使其適合處理各種類型的晶圓。ZMU 100P2提供卓越的準確性和可重復性。它有一個載荷高達100公斤的移動平臺，並且可以處理高達200毫米的大型晶片。該機一次最多可容納六個晶片，並配有一對滾帶晶片托盤，以便對個別晶片進行高效、安全的處理。使用滾帶托盤不需要人工傳輸晶圓,從而實現平穩高效的工作流程。ROBOTTONICS ZMU 100P2配備了先進的運動和成像技術，可以檢測晶圓的輕微失調並提高平面化精度。它還具有自動檢測和校正模具問題的功能，從而防止了平面化方面的不規則性，並提高了表面的平滑度。此外,ZMU 100P2具有高度的自動化和工具控制,具有用戶友好的界面和可定制的設置,允許用戶創建優化晶圓處理的特定配方。該資產適用於廣泛的晶圓沈積和CMP應用，包括用於太陽能電池制造的平面化晶圓，精密元件的噴丸，半導體材料的CMP。ROBOTTONICS ZMU 100P2具有先進的成像、運動控制和自動化功能,是各種晶圓加工的可靠且經濟高效的自動化解決方案。