二手 SATISLOH ART Blocker A #293828554 待售

SATISLOH ART Blocker A是另一種先進的晶圓處理設備，旨在提供高吞吐量、精確、可靠的結果。該系統配備了專利的「跟蹤單元」，利用三維機器視覺技術檢測和連續跟蹤形狀不規則的晶片。它能夠以低成本檢測、記錄和定位晶片,同時消除任何隧道錯誤。追蹤機能夠在各處理階段間移動晶片，包括光刻膠分配、膠帶分配、塗層、折射率測量、晶片厚度測量和晶片清潔。該工具配有靜電執行器以高精度將光刻膠分配到晶片上。該執行器能夠精確放置最小液滴尺寸為150納米的光致抗蝕劑。此外,資產的可變光學進給喉嚨可提高光刻膠分配過程的吞吐量,從而獲得更精確、更高效的結果。該型號還具有獲得專利的用於精確磁帶分配的柔性驅動器設備。該驅動器系統能夠自動控制磁帶分配噴嘴與晶片之間的間隙距離,從而獲得高效、精確的結果。另外，該單元還配備了三個獨立的運動軸，允許晶圓的精確和靈活的塗層。為了保證精度和生產率，該機還配備了自動對焦折射率測量工具。該資產能夠測量加工過的晶圓表面的折射率，並能提供精確的結果。此外，該模型還配備了晶圓厚度測量工具，利用X射線技術精確測量晶圓厚度。最後，設備配備了晶圓清洗系統，能夠清除任何表面汙染，包括揮發性有機化合物和顆粒。該晶片清洗裝置由噴嘴和刷子組成，能夠為所有類型的晶片表面清洗提供優化和高效的清洗過程。總之，ART Blocker A是另一種先進的晶圓加工機，旨在提供精確、可靠、高吞吐量的結果。該工具的專利跟蹤資產、靜電執行器、可變光學進給喉嚨、柔性驅動模型、自動對焦折射率測量設備、晶圓厚度測量工具和晶圓清洗系統都是使該單元成為高效、精確結果的絕佳選擇。