二手 SC FLUIDS MEMS Dryer #141020 待售

ID: 141020
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 2002
Supercritical CO2 MEMS dryer for single wafer drying, 6" to 8" Specifications: Wafer size: 6" to 8" Ultraclean CO2 delivery system Point of use particle filter: less than 0.003µ Solvent separator and water heater Automated process chamber closing mechanism PLC controller: stores up to 10 process recipes 2002 vintage.
SC FLUIDS MEMS Dryer是一款最先進的晶圓加工設備,設計用於微型機電系統(MEMS)生產。該烘幹機利用SC Fluidic Technolgy的專利加熱蒸氣技術來幹燥MEMS制造。該系統具有極低的熱力預算,並且在幹燥時具有卓越的均勻性。它是為MEMS晶片多孔層最高效、最精確的幹燥而設計的。MEMS Dryer是一個全封閉式、批處理單元,可以處理各種晶圓尺寸,直徑從200到400毫米。機器提供了一個幹凈、無細菌的工作環境。它還配備了真空工具,可以在高達100 °C的溫度下保持高達650毫巴的壓力。加熱的蒸氣技術使水分子蒸發,使晶圓表面保持幹燥,沒有殘留水分。資產還具有自動控制和警報功能,可實現無縫自動化和過程控制。通過其PLC控制器,操作員可以準確控制幹燥過程的溫度、壓力和時間。用戶友好的控制和易於使用的軟件使模型易於操作和維護。SC FLUIDS MEMS Dryer是高通量生產的理想選擇。它的最大速率為800晶片/小時,其自動化程序保證了準確的幹燥參數。該設備還配有一個安全開關,用於在發生意外事件時緊急關閉。MEMS Dryer是市場上最先進的晶圓加工系統之一。它提供了卓越的準確性、效率和安全措施。它還擁有出色的穩定性、可重復性和靈活性。該系統是需要精確、可靠幹燥的MEMS制造的絕佳選擇。
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