二手 SEDECO Vl-1522 #9093784 待售

SEDECO Vl-1522是一種專為先進半導體器件制造而設計的專用、交鑰匙晶片加工設備，同時提供最大生產力和最佳效果。Vl-1522的模塊化體系結構允許最大程度的靈活性,以滿足用戶的需求,從簡單到復雜的過程。該系統包括200 mm加工臺上的200 mm晶圓處理能力,提供了廣泛的晶圓載體,可容納各種晶圓進行處理,使其成為所有類型應用的理想選擇。由於集成了高性能晶圓機械手、機械臂和雙真空晶圓傳輸單元，SEDECO Vl-1522提供了非常高的吞吐量。該機器還能夠根據用戶的需要管理多達4個鍍層的工藝罐或工藝模塊。Vl-1522采用的先進工藝控制技術能夠最大限度地減少總工藝時間，提供卓越的均勻性和產量。SEDECO Vl-1522是一種高度可靠和可重復的工藝解決方案。其先進的晶圓級溫度控制工具提供極精確的過程控制和環境管理，精度為0.1°C。這使得該資產適用於金屬、氧化物、聚合物和其他材料的快速熱退火、擴散和氧化等各種過程。Vl-1522的晶片負載鎖提供超清潔環境，保持1.33毫巴的背景壓力。它還包括精度為0.5°C的多區域溫度控制,這對於設備制造和高標準的設備性能至關重要。SEDECO Vl-1522是一個高效且經濟高效的解決方案,適用於大批量應用。通過集成傳感器、自動化和診斷,它可以減少停機時間並提高生產效率。直觀、用戶友好的SEDECO軟件提供了對模型參數的完全控制，並允許針對特定應用需求進行流程定制。此外，隨著客戶需求的變化，設備可以很容易地升級為以後的應用。