二手 SEPARATION TECHNOLOGISTS AQ 400 #9211636 待售

SEPARATION TECHNOLOGERS AQ 400是為各種應用而設計的先進晶圓處理設備。是基材和加工產品生產、處理、分離的專用系統。它具有處理各種基材尺寸的能力，包括大面積的基材如12英寸晶圓，以及較小的基材如6英寸晶圓。AQ 400利用多種專利技術和工藝,在不影響基板完整性的情況下提供高吞吐量、高精度的分離。采用基於改進版Beakey-Tangen機構的先進分離技術，采用一種新型、精確控制、多方向、低摩擦的光學分離裝置，設計用於同時分離大面積基板和小基板。這臺機器可以精確、精確地對準晶片表面，以及自動、可重復的工藝周期。為了確保盡可能高的質量，SEPARATION TECHNOLOGRES AQ 400設計了一種自動清洗工具，利用一系列旋轉的刷子和高壓空氣噴射來清除工藝區域的顆粒汙染。該資產還配備了一個精確的視覺檢查模型，利用一系列相機和顯示器來檢查每個基板。這樣可以確保在進一步加工之前識別和消除基板中的任何缺陷。為了確保一致和可靠的分離性能,AQ 400附帶了一套高級過程控制系統。這包括一個在整個過程中保持均勻溫度的工藝層溫度控制設備，以及一個不斷監測基板特性的不規則性或問題的工藝監控系統。此外，該裝置還設計了一種高精度的物料處理機，將晶圓和基板從一個加工區轉移到下一個加工區。總體而言,SEPARATION TECHNOLOGERS AQ 400是一種通用、高精度的晶圓處理和處理工具。其先進的分離和過程控制系統提供可靠和精確的性能,而其可選的物料處理功能使其能夠輕松處理大面積基板。這使得資產非常適合各種應用,從制造到研發。