二手 SIMCO Aerostat PC #9329105 待售

ID: 9329105
Ionizing air blower.
SIMCO Aerostat PC是由SIMCO Inc設計和設計的晶圓處理設備。該系統專為雙蝕刻、等離子體蝕刻、光刻等工藝開發工作而設計。Aerostat PC配備了一個四級工藝室,可以快速設置和轉換過程。該室還具有開放式設計,具有短深度的加工室壁和可移動的頂部組件,便於訪問和維護。這使得安裝和維護比其他晶圓處理系統更快、更簡單。SIMCO Aerostat PC還提供了一系列靈活到適合任何應用的過程控制選項。這些功能包括自動氣體混合、壓力控制、配方處理以及與各種計量選項的激光對準。它還提供了廣泛的流程程序、自動安全聯鎖和集成診斷,可幫助將因流程錯誤造成的停機時間降至最低。為了提供最高級別的工藝精度和可重復性,Aerostat PC配備了先進的上下遊工藝監控。它包括壓力、溫度、氣體流量、沈積速率等所有臨界晶圓處理參數。這個先進的監測單位不僅控制流程,而且還監測流程,以確保質量控制和準確性。這些參數可以實時顯示,可用於即時調整工藝配方,以確保最佳處理結果。SIMCO Aerostat PC還設計為提供可靠高效的晶圓級處理環境。它融合了先進的自動化技術,如機器人工具和自動批處理,加快了晶圓處理周期,降低了生產成本,簡化了機器的操作。所有工藝配方都存儲在工具上,即使沒有熟練人員,也可以生產數百個工藝晶片。此外,資產是網絡就緒的,可以與其他類型的設備集成。使用Aerostat PC的好處很多。它提供精確的過程控制,保護寶貴的晶圓投資,最大限度地減少停機時間,並顯著降低與過程開發和生產相關的成本。此外,它的高級監控功能確保了高質量的輸出,直觀的設計提供了安全、高效和經濟高效的晶圓級處理模型。
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