二手 SIMCO Aerostat XC #9006700 待售

SIMCO Aerostat XC是一款晶圓加工設備，設計具有最高標準，以實現最大的工藝靈活性和質量控制。該系統用於執行半導體制造商和研究機構提供的各種專有工藝。Aerostat XC是一種自動真空和等離子體處理裝置，可配置用於PECVD沈積氧化物、氮化物和其他材料，並蝕刻各種薄膜。它具有精確平衡真空和氣體環境的現場汙染控制，最大限度地減少了顆粒產生，並提供了清潔的加工環境。這臺機器配備了高壓等離子體源，設計用於在整個晶圓表面提供等離子體的高均勻性。該工具還配備了全方位的工藝監測和腔室診斷功能，包括能夠獨立控制每個腔室最多4個獨立的射頻電源。這使用戶能夠在多個頻率下操作資產,以改善和優化流程一致性。SIMCO Aerostat XC為過程控制提供了最大的靈活性。它提供了一系列完整的實時流程監控功能,使用戶能夠調整處理條件以獲得最佳性能。此外,該模型旨在與其他CAD/CAM軟件集成,以實現更復雜的數據收集和控制功能。Aerostat XC也是為了最大安全而設計的。該室用於處理潛在危險的等離子體條件，封閉式手套箱利用HEPA過濾器和雙氣閘設備最大限度地防止汙染物。此外，所有腔室部件和工藝軟件的設計都符合嚴格的安全標準。最後,SIMCO Aerostat XC是為卓越的性能和可靠性而設計的.該系統采用最高質量的組件和工程標準構建,可提供最高效和可重現的過程性能和結果。此外,該單元還有一個承諾的服務和支持團隊作為後盾,該團隊包括專職服務技術人員,負責即時服務升級。因此,Aerostat XC是一種通用、可靠、高質量的晶圓加工工具。