二手 SIMCO Aerostat XC #9283565 待售
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SIMCO Aerostat XC是一款功能強大、用途廣泛的晶圓處理設備,適用於廣泛的應用。Aerostat XC是一種多罐系統,提供晶圓加工的完整熱循環控制,從熱循環的開始到結束,均勻地保證晶圓質量和產量。該機組配備了多個坦克,每個坦克都允許精確控制溫度、壓力和大氣。SIMCO Aerostat XC具有廣泛的高級功能,在超低流量和高質量通量熱流量等功能方面提供了無與倫比的性能,以及復雜的流體模擬功能。Aerostat XC的設計允許高精度晶圓處理。機器裝有數字比例閥,用於精確控制每個處理罐內的溫度、壓力和大氣。比例閥能夠在整個操作溫度範圍內保持穩定的溫度/壓力關系。此外,SIMCO Aerostat XC還配備了一個自動化控制工具,可優化每個過程的定時順序,同時確保整個過程中熱流參數(如流速)保持一致。Aerostat XC還具有一系列先進的熱模擬功能,可在整個過程周期中精確控制基板的熱輪廓。熱模擬功能使SIMCO Aerostat XC能夠預測給定晶片對工藝性能影響最大的屬性,如熱分布、溫度均勻性和溫度梯度。這使資產能夠精確控制優化晶圓質量的參數。XYZ集成系統通過實現先進的動態平衡算法,進一步提高了Aerostat XC的性能。動態平衡算法使SIMCO Aerostat XC即使在高度動態溫度變化時也能自動保持所需的溫度均勻性。這樣可以減少周期時間,提高性能,並確保整個基板的熱分布均勻。Aerostat XC是晶圓加工應用的理想工具。SIMCO Aerostat XC憑借其強大的功能和先進的功能,是高效、高質量晶圓加工不可或缺的解決方案。
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