二手 SIMCO Aerostat XC #9395465 待售

SIMCO Aerostat XC是為各種應用而設計的多功能自動化晶圓處理設備。它提供了精確可重復性、高速能力和各種晶圓尺寸的獨特組合。該系統能夠進行各種復雜的操作，如基板加工、器件形成、化學機械拋光（CMP）、電極金屬化、化學氣相沈積（CVD）和濺射。Aerostat XC是一個多用途晶片處理單元，具有精確的重復性和處理各種晶片尺寸的能力。該機器自動化程度很高，具有集成的流程模塊和廢水收集系統。此外,該工具還集成了一個高級軟件包,該軟件包簡化了操作並提供自動化的過程管理,以提高生產率。SIMCO Aerostat XC資產采用了獨有的統一加熱模型，以及高效的溫度控制設備。這樣可以確保最大程度地重復和統一工藝條件,從而提高工藝產量。此外，Aerostat XC系統利用數字晶圓跟蹤單元，確保一致和可重復的結果。SIMCO Aerostat XC機配備了高效的自動化化學輸送系統，其中主要選擇是化學輸送機器人和化學表系統。化學表系統為化學品輸送提供了一個經濟的解決方案，並利用一次性容器來維持最高純度標準。此外，自動化的化學交付機器人確保可靠和可重復的過程和提高生產力。Aerostat XC工具還提供與晶圓交接、用於設備形成的兩部分和臨時綁定以及各種薄膜沈積技術的集成功能。該資產擁有先進的非接觸式工藝傳感器和三軸晶圓處理模型，用於校正與熱和機械相關的變形。SIMCO Aerostat XC設備非常適合廣泛的應用，包括表面加工、器件結構形成、化學機械拋光、電極金屬化、化學氣相沈積和濺射。它提供了以最具競爭力的成本提供最高質量和吞吐量的全面解決方案。該系統是針對各種不同晶圓處理應用的高效、靈活、可靠的解決方案。